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10萬級半導體無塵車間的塵埃粒子監測

發布日期:2023-03-20 14:04:57責任編輯:www.aeqowey.cn

集成電路是當今信息技術產業高速發展的基礎和源動力,其技術水平和發展規模已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一。近年來一系列的政策出臺鼓勵國內半導體行業的發展,半導體“大基金”為國內半導體行業發展提供直接支持,將能有力提高集成電路領域的投資能力,從而釋放相關設備領域的需求。潔凈室工程是集成電路制造環節中重要的一環,直接決定了較終產品的成敗。


集成電路的基礎制造材料是硅片,硅片經過各種表面處理后,與光刻板一起經過包括光刻、熱處理、介質沉積、化學機械研磨等工藝較終形成集成電路芯片。如果生產過程中潔凈程度達不到要求,產品良品率會受到很大影響,較終產品就會失敗。隨著技術的進步,集成電路對潔凈度的要求越來越高。一般而言,當微粒尺寸達到集成電路節點一半大小時就成為了破壞性微粒,對集成電路的制造產生影響。比如,14 納米工藝中 7 納米的微粒就會影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高,目前5納米的工藝已經開始研發,集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,對于潔凈室工程的技術提出越來越高的要求。


集成電路幾乎所有環節都需要潔凈室內完成,且集成電路生產對潔凈度 要求很高。和其他產業不同,集成電路產業鏈幾乎所有的主要環節都需要在潔凈環境中進行,從單晶硅片制造,到 IC 制造的幾乎所有環節,到 IC 封裝的重要步驟都需要在潔凈室中完成,且對于潔凈度的要求非常高。潔凈室又被稱為無塵室或清凈室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。


即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室講的通俗點就是利用一定的科學技術手段,控制一定空間范圍內的空氣懸浮的顆粒濃度,而達到一定的濃度級別對應的就是一種潔凈室的等級。嚴格的來講,潔凈室不僅僅是控制空氣中的微小顆粒,他要控制的是整個車間(潔凈室)里面的微粒子,灰塵,細菌和微生物等等,除了要控制這些,潔凈室一般還得控制溫濕度等其他參數。


潔凈室在我們生產企業里面是使用的比較普遍的,比如電子類產品一些工序對空氣中的微小顆粒是有要求的,需要達到一定的級別,其中SMT貼片室就最為典型。凈化車間一般包含機器設備區(包含凈化機組用地、電氣設備用地、工業純水和高純度氣用地、熱冷機器設備用地等)、管理區(包含辦公室、值勤、管理室和休息區等)、潔凈輔助間(包含工作人員凈化用室、原材料凈化用室和一部分日常生活凈化用室等)、廠區。后三類用地全是為潔凈廠區服務項目的設備。


CW一RPC系列遠程激光塵埃粒子計數器是賽納威研發的智能多點監控系統的終端設備,可以通過RJ45網絡接口、WiFi、485 (moudbus)等,將數據傳輸給PC終端,為用戶提供實時準確的車間微粒數量和凈化等級。該粒子計數器按照國際標準IS014644-1,GMP和日本工業標準(JIS)要求標定,其計數效率和準確性滿足JJF1190-2008《塵埃粒子計數器》校準依據,專業應用于電子行業、制藥車間、食品、藥品車間、半導體、光學或精密機械加工車間等潔凈環境;用戶可根據需要增加或減少控制終端,可實現7*24實時遠程自動監測,有助于企業提升自動化、精細化管理。


粒子計數器設備分落散布在車間各監控點位,由安裝了系統監控軟件的主控電腦控制各采集點的工作狀態;監控軟件可選擇設定測試粒徑、測試時間、采樣間隔、刷新頻率、顯示單位、采樣模式和超限報警等,并可對測試歷史數據按需求進行查詢、統計、分析及繪制曲線圖,并可提供moudbus485通訊協議對接用戶物聯網平臺,供用戶自行開發和應用。

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